진공용사(VPS)는 대기중 용사(APS)와 대별하여, 무산소 진공분위기 또는 특정기체분위기에서 플라즈마 용사를 수행할 수 있는 장비로, 우주항공, 에너지환경, 반도체산업등 첨단과학기술분야의 내열,내마모,절연성 부품에 필요한 박막을 생성할 수 있는 장비입니다.

무산소환경 또는 특정기체분위기에서 플라즈마를 이용하여 박막을 생성함으로 산화물의 생성을 원천적으로 배제할 수 있는 환경을 제공할 뿐만 아니라, 각종 오염원으로 부터 박막생성과정을 보호할 수 있고, 조직의 치밀도를 높일 수 있습니다.

내부구동장치는 소규모 챔버내에서 다양한 규모의 박막형성이 가능하도록 터닝장비와 건이송장치를 자체개발하였는데, 그간 상용진공챔버의 비효율적 공간활용을 개선하여, 진공챔버공간을 유연화함으로서, 공간활용도를 극대화하여 다양한 부대장비를 설치하도록 구성하였습니다.